11. イオンビームスパッタリング法による紫外線用フッ化物薄膜の作製
Fluoride multilayers fabricated by Ion Beam Sputtering Method for ultraviolet optical applications
[中央研究所]吉田 俊也 Toshiya Yoshida / 原田 和明 Kazuaki Harada / 西本 圭司 Keiji Nishimoto / 関根 啓一 Keiichi Sekine / 江藤 和幸 Kazuyuki Etoh